圧電性薄膜を用いた弾性表面波基板の温度係数制御
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概要
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[圧電薄膜, 圧電薄膜/基板]構造の弾性表面波基板について,弾性表面波速度,電気機械結合係数,温度特性の計算を行い,1次零温度係数を与える膜厚の組み合せを求めた.さらにZnO薄膜とTa2O5薄膜がそれぞれ異符号の2次遅延時間温度係数を持つことに注目し[ZnO/Ta2O5/石英ガラス]基板において,1次と2次温度係数の制御方法を提案し,適当な膜厚において3次特性を示す高安定な基板が存在することを理論および実験的に明らかにした.
- 1993-06-18
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