SAWアシスト薄膜導波路を用いた音響光学偏向
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概要
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本研究では,高周波スパッタリング法によるNb_2O_5薄膜の成膜時に弾性表面波を用いる屈折率制御法を提案し,実験的に検討を行った.また,作成したNb_2O_5薄膜を用いて光変調実験を行ない光弾性定数を決定し,成膜時における弾性表面波が変調効率(光弾性効果)に与える影響を検討した.その結果,屈折率が約1%,光弾性定数が3〜6倍に大きくなることを見い出した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-07-22
著者
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