新圧電性Ta_2O_5薄膜の複屈折性
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概要
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単結晶薄膜を作成するための新しい加熱方法を提案し、その基礎的検討を行った。リニア型高速熱処理法を提案した。この熱処理方法は、RTA(Rapid Thermal Annealing)法を基本とした新しい熱処理方法である。リニア型高速熱処理法の特長は光を線状に集束させることである。これにより、深さ方向と面内方向に2次元温度分布を与えることができる。リニア型高速熱処理法によって熱処理を行った黒色石英基板上のTa_2O_5薄膜の配向性が向上する事がわかった。LiTaO_3基板を用いた場合には基板の影響力もあるため単結晶薄膜が得られた。薄膜の屈折率を測定し、その異方性を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-11-09
著者
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