直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス多層膜の評価
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概要
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直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを超高フィネス光キャビティー用多層膜の評価に適用した。RFイオンビームスパッタリング法により、2枚のSiO_2基板上にSiO_2/Ta_2O_5多層膜を成膜し、そのうちの1枚を熱処理した。LFB-UMCシステムにより漏洩弾性表面波(LSAW)速度の周波数特性を測定することにより、熱処理によるLSAW速度変化を捉えた。また、SiO_2とTa_2O_5の単層膜を作製し、LFB-UMCシステムにより評価した結果、多層膜の熱処理による弾性率、密度、透過率の変化は、主に、Ta_2O_5膜の特性変化によるものであることがわかった。
- 2011-09-19
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
伊藤 和彦
日本航空電子
-
伊藤 和彦
日本航空電子工業(株)中央研究所
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大院工
-
江藤 和幸
日本航空電子工業 中研
-
江藤 和幸
日本航空電子工業株式会社
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