超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの仮想温度分布評価

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概要

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超音波マイクロスペクトロスコピー技術により直接合成法により作製された合成石英(SiO_2)ガラスインゴットの仮想温度分布を評価した。異なる条件で熱処理した2つのSiO_2ガラスインゴットの径方向に試料を切り出し、平面超音波材料解析システムにより縦波音速の分布を測定した。熱処理時の冷却速度が遅いインゴットは、それが速いものと比べて仮想温度が低くなり、その分布が小さくなった。また、SiO_2ガラスの構造緩和時間を考慮してインゴットの冷却過程の仮想温度の数値計算を行うことにより、インゴット間の仮想温度差が妥当であることを示した。
2011-09-19

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