超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)

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概要

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超音波マイクロスペクトロスコピー技術を直接合成法により作製された合成石英(SiO_2)ガラスインゴットの均質性評価に適用した。このインゴットの中心軸近傍から用意した試料に対して、900-1150℃の温度で熱処理を行った。これらの試料に対して、縦波音速、LSAW速度、密度を測定することにより音響特性と仮想温度の間の関係を求めた。次に、インゴットの均質性を調べるために、インゴットの径方向に縦波音速とLSAW速度の分布を測定した。赤外分光分析法によりOH濃度と仮想温度、また複屈折の測定を行った。それらの結果、縦波音速によりガラスインゴット内の仮想温度分布が評価できること、LSAW速度により残留応力に起因した変化を評価できる可能性があることを示した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2011-01-13

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