多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察(機械力学,計測,自動制御)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper considers a system identification procedure of multi-degrees-of-freedom anti-vibration apparatus. A general procedure of system identification requires the determination of some parameters such as model structure, model order and sampling frequency of I/O signal. Although general guidelines for the determination of these parameters have been studied and reported, some of the parameters should be selected and determined through trial and error in practical engineering fields. Discussing the determination guideline of these parameters is quite useful in order to make a system identification technique applicable in practice. In this paper, the influence of some parameters on system identification results are discussed through the comparison of frequency responses of the models obtained by subspace method under different conditions. These consideration contribute to the application of a system identification technique in practice.
- 2010-04-25
著者
-
涌井 伸二
東京農工大学大学院共生科学技術研究院
-
高梨 宏之
秋田県立大学システム科学技術学部
-
涌井 伸二
東京農工大学工学府 電気電子工学科 共生科学技術研究院先端電気電子部門
-
涌井 伸二
キャノン(株) ナノテク研究所
-
涌井 伸二
キヤノン(株)半導体機器開発センター
-
涌井 伸二
キャノン ナノテク研
-
涌井 伸二
東京農工大学大学院
-
高梨 宏之
秋田県立大学 システム科学技術学部
-
高梨 宏之
秋田県立大学
関連論文
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : ボイスコイルモータを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧ステージへの流量外乱オブザーバ付き完全2自由度PDD^2制御の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察(機械力学,計測,自動制御)
- スプール形サーボバルブを備えた空圧式除振装置に対するモデル追従制御の調整法とその効果(機械力学,計測,自動制御)
- 完全2自由度PID制御系のメカニカル機器への適用
- 学生から大学教員になって(機械屋になって10年)
- 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧位置決めの一フィードフォワード補償器の機能
- 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の公差設計の改良
- 逆テーパ付き空気ばねのモデルの提案
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の一公差設計(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御
- 絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用
- 相対位置の微分信号を用いた空圧式除振装置の制御(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置の配管共振抑制法
- 太陽光発電システムの単独運転特性解析用回生負荷モデルの開発
- 1P2-S-081 空気圧バルーンを用いた腱駆動システムの開発(アクチュエータの機構と制御3,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- システム同定支援装置のインターフェースの開発
- 不完全な情報下におけるシステム同定 : 画像情報を用いた移動ロボットのシステム同定
- 多変数システム同定結果に基づく除振マウント支持による半導体露光装置の物理パラメータ推定
- スプール形サーボバルブを備えた空圧式除振装置に対するモデル追従制御の調整法とその効果
- 片手保持可能な小型点字読み取りセンサの開発(点字,福祉情報工学一般,地域におけるITサポート(シンポジウムテーマ))
- 多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察
- 圧力フィードバックと直列補償を備えた空圧系の位置決め制御
- 太陽光発電システムの単独運転特性解析用回生負荷モデルの開発
- 速度・変位センサの状態フィードバックに基づく一設計法(機械力学,計測,自動制御)
- G1601-1-5 点字読み取りセンサシステムの開発(センサ・アクチュエータ)
- アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善(機械力学,計測,自動制御)
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : 帯域の改善と空気ばねを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- 多次元ドライブシステムとは(多次元ドライブシステム)
- 絶対変位センサを用いたダイレクト床振動フィードフォワードの実装
- 絶対変位センサのパラメータ感度解析とばらつきの一調整法(機械力学,計測,自動制御)
- カテーテル先端装着型3次元抗力センサの開発
- 2404 3次元抗力センサに関する研究(要旨講演,生体治療・医療,バイオ操作・検査)
- 同軸導体構造を用いた3相および零相電流センサ一体化の検討(Selected Papers from the Fourth International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials(MMDM4))
- コンデンサ動作形リニア電磁ソレノイドのロバスト設計(パワーマグネティックス)
- 161 予防安全対策評価におけるヒヤリハットデータベースの交通事故統計への対応付け(交通・物流)
- 160 ドライブレコーダによる地域交通安全を目指したインシデントデータベース(交通・物流)
- ひずみゲージを用いた生体組織硬さ計測センサの開発(第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
- 321 床衝撃音のアクティブコントロールシステム : モデリングとシミュレーション(床衝撃音制御・振動騒音評価,OS-20:サイレント工学)
- 相対加速度の積分信号を用いた空圧式除振装置の制御
- 1204 内視鏡装着型3次元力センサの開発(要旨講演,一般セッション:生体治療・医療,バイオ操作・検査)
- 多次元ドライブシステムにおける駆動技術の現状と将来
- 多自由度モータのシステム化技術調査専門委員会中間報告
- ボールねじステージにおける電磁ダンパ制御の一研究 : −ボールねじと小型リニアモータを組み合わせた高スループットステージの実現−
- 走査型電子顕微鏡における磁場シールド制振による像ノイズの低減
- 広帯域動吸振器を使った走査型電子顕微鏡の騒音像ノイズの低減
- 一つのホールセンサを用いた永久磁石同期電動機の速度推定および位置同定手法
- 巻線係数とインダクタンス係数を用いた多極多スロット集中巻SPMSMの簡易設計手法
- 磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
- 高帯域化速度センサとそのアクティブ除振装置への適用
- ピエゾ素子とVCMを備えた除振装置の除振条件に関する一考察
- 空圧位置決め系の安定化制御
- 逆ノッチフィルタを用いた速度センサの高帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 永久磁石同期電動機の連成解析によるトルク波形比較
- 電源電圧制御機能つき三相PWMインバータの低電圧運転
- ホールセンサを使用したPMモータの簡易速度センサレス制御
- 空圧式アクティブ除振装置に対する低固有値化の一方法
- 弱め界磁を考慮したIPMの諸特性と強め界磁型IPMの一考察
- 要求出力特性を満足する永久磁石同期電動機自動設計手法
- 一巡伝達関数を用いたステージ位置制御系への北森法の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 圧電素子を備えた除振装置のフィルタ包含LQ制御
- 永久磁石同期電動機の最適設計に関する一手法
- すべりねじステージの制御構造の一研究 : −機械非線形特性の把握と制御−
- スキャン光学エンコーダに関する一研究 : −レーザ干渉によるスキャン光学系と位相同期検波による高分解能位置センサ−
- 走査型電子顕微鏡における電子ビーム偏向による像ノイズの低減
- 回転状態にある5軸能動形磁気軸受を用いた構造物の制振
- 5軸能動形磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
- アクティブ除振装置に対するフィードフォワード制御の一改良
- 多自由度(球面)モータの構成と応用
- ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
- 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
- 補助タンクを用いた除振台の高性能化
- 部分空間法による除振マウント支持の半導体露光装置に対する多変数システム同定実験
- 半導体露光装置のアクティブ除振制御系設計のための多自由度システム同定
- 加速度センサノイズが空圧式除振装置の制御に与える影響
- サブÅオーダの微振動を抑制する透過型電子顕微鏡用耐騒音試料ホルダの開発
- 電子光学的剛性設計による透過型電子顕微鏡の耐振性の改善
- スキャン光学エンコーダの安定性に関する一研究 : —位相同期検波と補償格子構成による高安定位置センサの実現—
- 絶対速度・変位センサの広帯域化とその除振装置への適用
- 書評 : ラランデの星, 鳴海風著, 新人物往来社(読者の広場)
- 絶対変位センサのパラメータ感度解析とばらつきの一調整法
- 2P1-F09 競技力向上のためのパッシブ型スキーロボットによるターンの研究(秋田発ロボティクス・メカトロニクスプロジェクト)
- 電子顕微鏡における同調薄層機構による床振動の相殺補償
- 2P1-A22 蠕動運動型ロボットにおける強化学習による運動パターンの獲得
- 1P1-C10 空気圧人工筋を用いた蠕動運動型ロボットに関する研究(バイオミメティクス・ロボティクス)
- 1A1-J09 カテーテル用3次元抗力センサ(医療・福祉ロボティクス・メカトロニクス)
- 1A1-J08 空気圧バルーン型腱駆動システムを用いた足関節拘縮予防器械の開発(医療・福祉ロボティクス・メカトロニクス)
- 1A1-J07 空気圧シリンダによる腕動作支援装置に関する研究(医療・福祉ロボティクス・メカトロニクス)
- 走査型電子顕微鏡における振動モードシェイピングによる像ノイズの低減
- 検定コイルを用いたサーボ形変位センサの実現
- 回想の半導体露光装置用ウエハステージ : —モデル化の満たされない想い—
- 検定コイルを用いたサーボ形速度センサの実現
- 変位センサの傾斜設置に起因するアライメント誤差の抑制
- 空圧式除振装置に対する正帰還を用いた圧力フィードバックの高帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割(アクティブ制振技術とその応用)