除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In the field of a precise positioning, an active isolation system, which is arranged 6 acceleration sensors in total in the horizontal and vertical direction, is generally installed and measures the movement of 6 degrees-of-freedom. In this case, the body supported by isolation unit has inclination Θ of the direction of pitch or roll, inclination components are superimposed to the acceleration sensor output of horizontal direction. When this component is canceled by high pass filter, the body oscillates in the cutoff frequency of the filter. Therefore, the inclination angle Θ is measured by position sensing devices equipped with isolation unit, and the inclination component can be correctly compensated. Then, the necessary performance for isolation unit is able to be achieved.
- 社団法人 精密工学会の論文
著者
関連論文
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : ボイスコイルモータを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧ステージへの流量外乱オブザーバ付き完全2自由度PDD^2制御の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察(機械力学,計測,自動制御)
- スプール形サーボバルブを備えた空圧式除振装置に対するモデル追従制御の調整法とその効果(機械力学,計測,自動制御)
- 完全2自由度PID制御系のメカニカル機器への適用
- 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
- ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
- 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
- 補助タンクを用いた除振台の高性能化
- 空圧位置決めの一フィードフォワード補償器の機能
- 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の公差設計の改良
- 逆テーパ付き空気ばねのモデルの提案
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の一公差設計(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御
- 絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用
- 相対位置の微分信号を用いた空圧式除振装置の制御(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置の配管共振抑制法
- 太陽光発電システムの単独運転特性解析用回生負荷モデルの開発
- スプール形サーボバルブを備えた空圧式除振装置に対するモデル追従制御の調整法とその効果
- 多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察
- 圧力フィードバックと直列補償を備えた空圧系の位置決め制御
- 太陽光発電システムの単独運転特性解析用回生負荷モデルの開発
- 速度・変位センサの状態フィードバックに基づく一設計法(機械力学,計測,自動制御)
- アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善(機械力学,計測,自動制御)
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : 帯域の改善と空気ばねを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- 多次元ドライブシステムとは(多次元ドライブシステム)
- 絶対変位センサを用いたダイレクト床振動フィードフォワードの実装
- 絶対変位センサのパラメータ感度解析とばらつきの一調整法(機械力学,計測,自動制御)
- 同軸導体構造を用いた3相および零相電流センサ一体化の検討(Selected Papers from the Fourth International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials(MMDM4))
- コンデンサ動作形リニア電磁ソレノイドのロバスト設計(パワーマグネティックス)
- 相対加速度の積分信号を用いた空圧式除振装置の制御
- 多次元ドライブシステムにおける駆動技術の現状と将来
- 多自由度モータのシステム化技術調査専門委員会中間報告
- ボールねじステージにおける電磁ダンパ制御の一研究 : −ボールねじと小型リニアモータを組み合わせた高スループットステージの実現−
- 走査型電子顕微鏡における磁場シールド制振による像ノイズの低減
- 広帯域動吸振器を使った走査型電子顕微鏡の騒音像ノイズの低減
- 一つのホールセンサを用いた永久磁石同期電動機の速度推定および位置同定手法
- 巻線係数とインダクタンス係数を用いた多極多スロット集中巻SPMSMの簡易設計手法
- 磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
- 高帯域化速度センサとそのアクティブ除振装置への適用
- ピエゾ素子とVCMを備えた除振装置の除振条件に関する一考察
- 空圧位置決め系の安定化制御
- 逆ノッチフィルタを用いた速度センサの高帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 永久磁石同期電動機の連成解析によるトルク波形比較
- 電源電圧制御機能つき三相PWMインバータの低電圧運転
- ホールセンサを使用したPMモータの簡易速度センサレス制御
- 空圧式アクティブ除振装置に対する低固有値化の一方法
- 弱め界磁を考慮したIPMの諸特性と強め界磁型IPMの一考察
- 要求出力特性を満足する永久磁石同期電動機自動設計手法
- 一巡伝達関数を用いたステージ位置制御系への北森法の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 圧電素子を備えた除振装置のフィルタ包含LQ制御
- 永久磁石同期電動機の最適設計に関する一手法
- すべりねじステージの制御構造の一研究 : −機械非線形特性の把握と制御−
- スキャン光学エンコーダに関する一研究 : −レーザ干渉によるスキャン光学系と位相同期検波による高分解能位置センサ−
- 超精密位置決めステージの開発の現状
- 走査型電子顕微鏡における電子ビーム偏向による像ノイズの低減
- 回転状態にある5軸能動形磁気軸受を用いた構造物の制振
- 5軸能動形磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
- アクティブ除振装置に対するフィードフォワード制御の一改良
- 多自由度(球面)モータの構成と応用
- ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
- 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
- 補助タンクを用いた除振台の高性能化
- 加速度センサノイズが空圧式除振装置の制御に与える影響
- スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究 : —レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2次元計測—
- サブÅオーダの微振動を抑制する透過型電子顕微鏡用耐騒音試料ホルダの開発
- 電子光学的剛性設計による透過型電子顕微鏡の耐振性の改善
- スキャン光学エンコーダの安定性に関する一研究 : —位相同期検波と補償格子構成による高安定位置センサの実現—
- 絶対速度・変位センサの広帯域化とその除振装置への適用
- 空圧式除振装置に対する床振動フィードフォワードの一考察
- 書評 : ラランデの星, 鳴海風著, 新人物往来社(読者の広場)
- 絶対変位センサのパラメータ感度解析とばらつきの一調整法
- 2端子対超音波モータ等価回路のパラメータ同定の留意点
- 電子顕微鏡における同調薄層機構による床振動の相殺補償
- 走査型電子顕微鏡における振動モードシェイピングによる像ノイズの低減
- 検定コイルを用いたサーボ形変位センサの実現
- 回想の半導体露光装置用ウエハステージ : —モデル化の満たされない想い—
- リニアスライダの位置決め制御系に対するフィードバック誤差学習の一実装法
- 超音波モータの高速位置決め手法
- 電流フィードバック式ドライバを用いた絶対変位センサのモデル化
- 歪みセンサのフィードフォワードに基づく磁気軸受活用の制振
- 検定コイルを用いたサーボ形速度センサの実現
- 変位センサの傾斜設置に起因するアライメント誤差の抑制
- 空圧式除振装置に対する正帰還を用いた圧力フィードバックの高帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- Trial Manufacture of Gate Valve for Vacuum and Its Evaluation
- 精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割(アクティブ制振技術とその応用)
- 変位センサの傾斜設置に起因するアライメント誤差の抑制
- Improvement of Auto-Tuning for Stage Positioning with Feedback Error Learning Control
- 三軸微動ステージに対する変形運動モード別非干渉化制御系の適用
- Implementation of an Easy Dual Disturbance Observer for Pneumatic Stages
- ピエゾ素子を備えた除振装置の特性改善