高橋 正人 | ニコン

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概要

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関連著者

• 涌井 伸二

  東京農工大学大学院共生科学技術研究院

• 高橋 正人

  (株)ニコン

• 高橋 正人

  ニコン

• 涌井 伸二

  東京農工大学大学院

• 涌井 伸二

  東京農工大学工学府 電気電子工学科 共生科学技術研究院先端電気電子部門

• 牧野内 進

  (株)ニコン

• 牧野内 進

  ニコン

• 瓜生 恭生

  東京農工大学大学院電気電子工学専攻

• 山本 幸治

  ニコン

• 山本 幸治

  (株)ニコン

• 涌井 伸二

  キャノン(株) ナノテク研究所

• 涌井 伸二

  キャノン ナノテク研

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著作論文

• 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
• 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
• ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
• 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
• 補助タンクを用いた除振台の高性能化

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