高橋 正人 | (株)ニコン
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概要
関連著者
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高橋 正人
(株)ニコン
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涌井 伸二
東京農工大学大学院共生科学技術研究院
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涌井 伸二
東京農工大学大学院
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涌井 伸二
東京農工大学工学府 電気電子工学科 共生科学技術研究院先端電気電子部門
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涌井 伸二
キャノン(株) ナノテク研究所
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涌井 伸二
キャノン ナノテク研
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高橋 正人
ニコン
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涌井 伸二
キヤノン(株)半導体機器開発センター
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山本 幸治
ニコン
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山本 幸治
(株)ニコン
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牧野内 進
(株)ニコン
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牧野内 進
ニコン
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長谷川 雄三
東京農工大学大学院電子工学専攻
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長谷川 雄三
東京農工大学大学院電気電子工学科
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渡辺 智仁
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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瓜生 恭生
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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高橋 正人
株式会社ニコン
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山本 真臣
東京農工大学大学院
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富井 太士
東京農工大学大学院
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山本 幸治
株式会社ニコン
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小島 大典
東京農工大学大学院
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藤原 真樹
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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高橋 正人
ニコン(株)半導体露光事業部
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白石 貴行
東京農工大学大学院
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入江 亮
東京農工大学大学院
著作論文
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
- ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
- 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
- 補助タンクを用いた除振台の高性能化
- 空圧位置決めの一フィードフォワード補償器の機能
- 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の公差設計の改良
- 逆テーパ付き空気ばねのモデルの提案
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の一公差設計(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御
- 絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用
- 相対位置の微分信号を用いた空圧式除振装置の制御(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置の配管共振抑制法
- アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善(機械力学,計測,自動制御)
- ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
- 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
- 補助タンクを用いた除振台の高性能化
- 加速度センサノイズが空圧式除振装置の制御に与える影響