涌井 伸二 | キャノン ナノテク研
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概要
関連著者
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涌井 伸二
キャノン ナノテク研
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涌井 伸二
キャノン(株) ナノテク研究所
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涌井 伸二
東京農工大学工学府 電気電子工学科 共生科学技術研究院先端電気電子部門
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涌井 伸二
東京農工大学大学院共生科学技術研究院
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涌井 伸二
東京農工大学大学院
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涌井 伸二
キヤノン(株)半導体機器開発センター
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高橋 正人
(株)ニコン
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羽持 満
日本電子(株)
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山本 幸治
ニコン
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山本 幸治
(株)ニコン
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長谷川 雄三
東京農工大学大学院電子工学専攻
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長谷川 雄三
東京農工大学大学院電気電子工学科
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矢野 智昭
産総研
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渡辺 智仁
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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瓜生 恭生
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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高橋 正人
株式会社ニコン
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小島 大典
東京農工大学大学院
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甲斐 孝志
東京農工大学大学院工学府
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青島 慎
日本電子(株)
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赤津 観
東京農工大
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乾 成里
日本大学工学部
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佐々木 悠
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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赤津 観
東京農工大学 大学院共生科学技術研究院
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乾 成里
日本大学
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大井 英司
オリエンタルモーター
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佐藤 幹夫
キャノン(株) ナノテク研究所
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浅田 克己
キヤノン(株)
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矢野 智昭
産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
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浅田 克己
キヤノン(株)半導体機器開発センター
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根岸 康人
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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甲斐 孝志
東京農工大学大学院
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柳川 敦志
東京農工大学大学院工学府
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牧野内 進
(株)ニコン
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高橋 正人
ニコン
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牧野内 進
ニコン
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山本 真臣
東京農工大学大学院
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富井 太士
東京農工大学大学院
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山本 幸治
株式会社ニコン
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藤原 真樹
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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高橋 正人
ニコン(株)半導体露光事業部
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白石 貴行
東京農工大学大学院
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黒川 浩助
東京農工大学 工学研究科 電子情報工学専攻
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相崎 秀斗
東京農工大学大学院工学府
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原 辰次
東京工業大学 大学院 情報理工学研究科
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高梨 宏之
秋田県立大学システム科学技術学部
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須賀 三雄
日本電子
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涌井 伸二
キャノン(株)宇都宮光学機器事業所
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五十嵐 広宣
財団法人 電気安全環境研究所
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川崎 憲広
東京工業大学 統合研究院
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黒川 浩助
東京工業大学 統合研究院
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矢野 智昭
産業技術総合研究所
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五十嵐 広宣
電気安全環境研究所研究部
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鈴木 元気
関電工:(元)東京農工大学
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工藤 高裕
富士電機アドバンストテクノロジー(株)機器技術研究所
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工藤 高裕
富士電機アドバンストテクノロジー(株) 機器技術研究所
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浅田 規
富士電機アドバンストテクノロジー(株)
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川崎 憲広
東京工業大学 総合研究院
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佐藤 幹夫
キャノン(株)
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入江 亮
東京農工大学大学院
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沢田 英敬
日本電子(株)
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佐藤 幹夫
キヤノン(株)
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所 裕一郎
日本電子(株)
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御供 頌弘
横河電機(株)
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須賀 三雄
日本電子(株)
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大橋 茂
日本電子(株)
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門間 香波
東京農工大学大学電気電子工学科
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伏間 千鶴
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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黒川 浩助
東京工業大学
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多田 遼太郎
東京農工大学大学院
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高梨 宏之
秋田県立大学 システム科学技術学部
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高梨 宏之
秋田県立大学
著作論文
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : ボイスコイルモータを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧ステージへの流量外乱オブザーバ付き完全2自由度PDD^2制御の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察(機械力学,計測,自動制御)
- スプール形サーボバルブを備えた空圧式除振装置に対するモデル追従制御の調整法とその効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧位置決めの一フィードフォワード補償器の機能
- 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の公差設計の改良
- 逆テーパ付き空気ばねのモデルの提案
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の一公差設計(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御
- 絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用
- 相対位置の微分信号を用いた空圧式除振装置の制御(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置の配管共振抑制法
- 圧力フィードバックと直列補償を備えた空圧系の位置決め制御
- 太陽光発電システムの単独運転特性解析用回生負荷モデルの開発
- 速度・変位センサの状態フィードバックに基づく一設計法(機械力学,計測,自動制御)
- 同軸導体構造を用いた3相および零相電流センサ一体化の検討(Selected Papers from the Fourth International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials(MMDM4))
- 相対加速度の積分信号を用いた空圧式除振装置の制御
- 多自由度モータのシステム化技術調査専門委員会中間報告
- H^∽制御によるXYステージの位置決め制御
- 定盤加速度信号を用いたX-Yステージ位置決め制御系の解析
- 走査型電子顕微鏡における磁場シールド制振による像ノイズの低減
- 広帯域動吸振器を使った走査型電子顕微鏡の騒音像ノイズの低減
- 一つのホールセンサを用いた永久磁石同期電動機の速度推定および位置同定手法
- 巻線係数とインダクタンス係数を用いた多極多スロット集中巻SPMSMの簡易設計手法
- 走査型電子顕微鏡における電子ビーム偏向による像ノイズの低減
- 回転状態にある5軸能動形磁気軸受を用いた構造物の制振
- 5軸能動形磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
- アクティブ除振装置に対するフィードフォワード制御の一改良
- 多自由度(球面)モータの構成と応用
- 半導体露光装置における精密位置決め技術 (特集 半導体製造装置)
- 3自由度微動機構のモデル化と制御特性の改善
- 書評 : ラランデの星, 鳴海風著, 新人物往来社(読者の広場)
- 電子顕微鏡における同調薄層機構による床振動の相殺補償
- 走査型電子顕微鏡における振動モードシェイピングによる像ノイズの低減
- 検定コイルを用いたサーボ形変位センサの実現
- 精密位置決めのための除振装置の低コスト化設計 (特集 機械設計者のための 精密位置決め機構設計--最新事例で学ぶ高精度化,高速化,低コスト化の実現)
- 検定コイルを用いたサーボ形速度センサの実現
- 空圧式除振装置に対する正帰還を用いた圧力フィードバックの高帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割(アクティブ制振技術とその応用)
- 微動ステージに対するコロケーション実現の一方法とその制御特性