涌井 伸二 | キヤノン(株)半導体機器開発センター
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概要
関連著者
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涌井 伸二
キヤノン(株)半導体機器開発センター
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涌井 伸二
キャノン(株) ナノテク研究所
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涌井 伸二
東京農工大学工学府 電気電子工学科 共生科学技術研究院先端電気電子部門
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涌井 伸二
東京農工大学大学院共生科学技術研究院
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涌井 伸二
キャノン ナノテク研
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涌井 伸二
東京農工大学大学院
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甲斐 孝志
東京農工大学大学院工学府
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高橋 正人
(株)ニコン
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甲斐 孝志
東京農工大学大学院
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浅田 克己
キヤノン(株)
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浅田 克己
キヤノン(株)半導体機器開発センター
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涌井 伸二
キヤノン
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牧野内 進
(株)ニコン
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牧野内 進
ニコン
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渡辺 智仁
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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高梨 宏之
秋田県立大学システム科学技術学部
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間山 武彦
キャノン(株)宇都宮光学機器事業所
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秋山 昌也
東京農工大学大学院工学府
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羽持 満
日本電子(株)
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間山 武彦
キヤノン
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柳川 敦志
東京農工大学大学院工学府
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山本 真臣
東京農工大学大学院
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黒川 浩助
東京農工大学 工学研究科 電子情報工学専攻
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相崎 秀斗
東京農工大学大学院工学府
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青島 慎
日本電子(株)
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足立 修一
宇都宮大学工学部
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高梨 宏之
宇都宮大学 工学部
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五十嵐 広宣
財団法人 電気安全環境研究所
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川崎 憲広
東京工業大学 統合研究院
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黒川 浩助
東京工業大学 統合研究院
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五十嵐 広宣
電気安全環境研究所研究部
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川崎 憲広
東京工業大学 総合研究院
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入江 亮
東京農工大学大学院
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沢田 英敬
日本電子(株)
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佐藤 幹夫
キャノン(株) ナノテク研究所
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佐藤 幹夫
キヤノン(株)
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所 裕一郎
日本電子(株)
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東海林 敦
宇都宮大学
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加藤 宏昭
キヤノン
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岩井 功
キヤノン
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足立 修一
宇都宮大学 大学院
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黒川 浩助
東京工業大学
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高梨 宏之
秋田県立大学 システム科学技術学部
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足立 修一
宇都宮大学
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高梨 宏之
秋田県立大学
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秋山 昌也
東京農工大学大学院 工学府 電気電子工学専攻
著作論文
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : ボイスコイルモータを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧ステージへの流量外乱オブザーバ付き完全2自由度PDD^2制御の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察(機械力学,計測,自動制御)
- スプール形サーボバルブを備えた空圧式除振装置に対するモデル追従制御の調整法とその効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧位置決めの一フィードフォワード補償器の機能
- 太陽光発電システムの単独運転特性解析用回生負荷モデルの開発
- 速度・変位センサの状態フィードバックに基づく一設計法(機械力学,計測,自動制御)
- アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善(機械力学,計測,自動制御)
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : 帯域の改善と空気ばねを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- 絶対変位センサを用いたダイレクト床振動フィードフォワードの実装
- 絶対変位センサのパラメータ感度解析とばらつきの一調整法(機械力学,計測,自動制御)
- 相対加速度の積分信号を用いた空圧式除振装置の制御
- 定盤加速度信号を用いたX-Yステージ位置決め制御系の解析
- 走査型電子顕微鏡における磁場シールド制振による像ノイズの低減
- ステッパにおける精密位置決めステージの現状と将来(精密・超精密位置決めの現状と将来予想)
- 半導体露光装置のアクティブ除振制御系設計のための多自由度システム同定
- 半導体露光装置における精密位置決め技術 (特集 半導体製造装置)
- 復元した位置記号を使った空気ばね式除振装置の制御
- 3自由度微動機構のモデル化と制御特性の改善
- 電子顕微鏡における同調薄層機構による床振動の相殺補償
- ロボットアームへの軌道追従制御適用の留意点
- フィードフォワード補償を備えた磁気軸受の制御
- 精密位置決めのための除振装置の低コスト化設計 (特集 機械設計者のための 精密位置決め機構設計--最新事例で学ぶ高精度化,高速化,低コスト化の実現)
- 低次な適応フィルタを用いたアクティブ除振装置への床振動フィードフォワード制御
- 変位センサの傾斜設置に起因するアライメント誤差の抑制
- 書評 : 算聖伝 関孝和の生涯(読者の広場)(「システム制御理論の新領域特集号」)
- 圧電素子を備えた除振装置に関する一考察
- 振動モード別非干渉化マイナループを有する三軸微動ステージの位置決め制御
- ステージ位置制御系への北森法の適用
- ステージ位置制御系のPID調整に関する一考察
- ピエゾ素子を使った微動機構に対する高速位置決めの手法
- ボード線図とコ・クアド線図に基づくパラメータ推定の相違
- 位置決め機構の物理パラメータの一同定方法
- モデル追従形サーボ系と2自由度系の類似点と相違点