涌井 伸二 | キヤノン

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概要

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関連著者

• 涌井 伸二

  キヤノン

• 涌井 伸二

  キャノン(株) ナノテク研究所

• 涌井 伸二

  キヤノン(株)半導体機器開発センター

• 間山 武彦

  キャノン(株)宇都宮光学機器事業所

• 間山 武彦

  キヤノン

• 高梨 宏之

  秋田県立大学システム科学技術学部

• 足立 修一

  宇都宮大学工学部

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  宇都宮大学 工学部

• 東海林 敦

  宇都宮大学

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• 岩井 功

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• 足立 修一

  宇都宮大学 大学院

• 足立 修一

  宇都宮大学

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著作論文

• 半導体露光装置のアクティブ除振制御系設計のための多自由度システム同定
• フィードフォワード補償を備えた磁気軸受の制御
• 低次な適応フィルタを用いたアクティブ除振装置への床振動フィードフォワード制御
• 305 除振装置に施した圧力制御(精密・情報機器の制御II)(OS 精密・情報機器の制御)
• 空気ばね式除振台に対するフィードフォワード制御の適用
• 微動ステージに対する運動モードに基づく改良型加速度フィードバックを有する位置決め

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