低次な適応フィルタを用いたアクティブ除振装置への床振動フィードフォワード制御
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概要
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- 社団法人 電気学会の論文
- 1996-09-20
著者
-
間山 武彦
キャノン(株)宇都宮光学機器事業所
-
涌井 伸二
キャノン(株) ナノテク研究所
-
涌井 伸二
キヤノン(株)半導体機器開発センター
-
間山 武彦
キヤノン
-
岩井 功
キヤノン
-
涌井 伸二
キヤノン
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