微動ステージに対する運動モードに基づく改良型加速度フィードバックを有する位置決め

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概要

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• 一般社団法人 電気学会の論文
• 1996-02-20

著者

• 涌井 伸二

  キャノン(株) ナノテク研究所

• 涌井 伸二

  キヤノン

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