高速・高精度位置決め技術の実相 (特集 半導体製造装置・実装機から学ぶ 高精度位置決めのテクニック)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 日刊工業新聞社の論文
- 2004-10-00
著者
関連論文
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : ボイスコイルモータを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧ステージへの流量外乱オブザーバ付き完全2自由度PDD^2制御の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 多自由度除振装置のシステム同定手順に関する一考察(機械力学,計測,自動制御)
- スプール形サーボバルブを備えた空圧式除振装置に対するモデル追従制御の調整法とその効果(機械力学,計測,自動制御)
- 完全2自由度PID制御系のメカニカル機器への適用
- 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧位置決めの一フィードフォワード補償器の機能
- 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の公差設計の改良
- 逆テーパ付き空気ばねのモデルの提案
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の一公差設計(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御
- 絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用
- 相対位置の微分信号を用いた空圧式除振装置の制御(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置の配管共振抑制法
- 多変数システム同定結果に基づく除振マウント支持による半導体露光装置の物理パラメータ推定
- 圧力フィードバックと直列補償を備えた空圧系の位置決め制御
- 太陽光発電システムの単独運転特性解析用回生負荷モデルの開発
- 速度・変位センサの状態フィードバックに基づく一設計法(機械力学,計測,自動制御)
- アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善(機械力学,計測,自動制御)
- 絶対変位センサを用いた2自由度空圧式除振装置の制御 : 帯域の改善と空気ばねを用いた制振(機械力学,計測,自動制御)
- 多次元ドライブシステムとは(多次元ドライブシステム)
- 絶対変位センサを用いたダイレクト床振動フィードフォワードの実装
- 絶対変位センサのパラメータ感度解析とばらつきの一調整法(機械力学,計測,自動制御)
- 同軸導体構造を用いた3相および零相電流センサ一体化の検討(Selected Papers from the Fourth International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials(MMDM4))
- コンデンサ動作形リニア電磁ソレノイドのロバスト設計(パワーマグネティックス)
- 相対加速度の積分信号を用いた空圧式除振装置の制御
- 多次元ドライブシステムにおける駆動技術の現状と将来
- 多自由度モータのシステム化技術調査専門委員会中間報告
- H^∽制御によるXYステージの位置決め制御
- 走査型電子顕微鏡における磁場シールド制振による像ノイズの低減
- 広帯域動吸振器を使った走査型電子顕微鏡の騒音像ノイズの低減
- 一つのホールセンサを用いた永久磁石同期電動機の速度推定および位置同定手法
- 巻線係数とインダクタンス係数を用いた多極多スロット集中巻SPMSMの簡易設計手法
- 磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
- 高帯域化速度センサとそのアクティブ除振装置への適用
- ピエゾ素子とVCMを備えた除振装置の除振条件に関する一考察
- 空圧位置決め系の安定化制御
- 逆ノッチフィルタを用いた速度センサの高帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 永久磁石同期電動機の連成解析によるトルク波形比較
- 電源電圧制御機能つき三相PWMインバータの低電圧運転
- ホールセンサを使用したPMモータの簡易速度センサレス制御
- 空圧式アクティブ除振装置に対する低固有値化の一方法
- 弱め界磁を考慮したIPMの諸特性と強め界磁型IPMの一考察
- 要求出力特性を満足する永久磁石同期電動機自動設計手法
- 一巡伝達関数を用いたステージ位置制御系への北森法の適用(機械力学,計測,自動制御)
- 圧電素子を備えた除振装置のフィルタ包含LQ制御
- 永久磁石同期電動機の最適設計に関する一手法
- 現代制御理論によるロボット制御( 高度メカニズムと制御)
- 超精密位置決めステージの開発の現状
- ステッパにおける精密位置決めステージの現状と将来(精密・超精密位置決めの現状と将来予想)
- 走査型電子顕微鏡における電子ビーム偏向による像ノイズの低減
- 回転状態にある5軸能動形磁気軸受を用いた構造物の制振
- 5軸能動形磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
- アクティブ除振装置に対するフィードフォワード制御の一改良
- 多自由度(球面)モータの構成と応用
- 半導体露光装置のアクティブ除振制御系設計のための多自由度システム同定
- KrFエキシマレ-ザスキャニングステッパ (特集 クォ-タミクロン時代の半導体製造装置)
- 半導体露光装置における精密位置決め技術 (特集 半導体製造装置)
- 事例1 半導体露光装置における精密位置決め技術開発の実相 (特集 最近の事例に学ぶ精密位置決めの設計技術)
- 半導体露光装置の制御
- 書評 : ラランデの星, 鳴海風著, 新人物往来社(読者の広場)
- 電子顕微鏡における同調薄層機構による床振動の相殺補償
- 走査型電子顕微鏡における振動モードシェイピングによる像ノイズの低減
- 検定コイルを用いたサーボ形変位センサの実現
- 精密位置決めのための除振装置の低コスト化設計 (特集 機械設計者のための 精密位置決め機構設計--最新事例で学ぶ高精度化,高速化,低コスト化の実現)
- 低次な適応フィルタを用いたアクティブ除振装置への床振動フィードフォワード制御
- 検定コイルを用いたサーボ形速度センサの実現
- 変位センサの傾斜設置に起因するアライメント誤差の抑制
- 空圧式除振装置に対する正帰還を用いた圧力フィードバックの高帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 書評 : 算聖伝 関孝和の生涯(読者の広場)(「システム制御理論の新領域特集号」)
- 精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割(アクティブ制振技術とその応用)
- 三軸微動ステージに対する変形運動モード別非干渉化制御系の適用
- 高速・高精度位置決め技術の実相 (特集 半導体製造装置・実装機から学ぶ 高精度位置決めのテクニック)
- ピエゾ素子を備えた除振装置の特性改善
- ステッパにおけるアクティブダンパの開発 (モーションコントロール入門(2)モーションコントロールの実際)
- 305 除振装置に施した圧力制御(精密・情報機器の制御II)(OS 精密・情報機器の制御)
- 圧電素子を備えた除振装置に関する一考察
- 11.電磁力関係(研究展望)
- 振動モード別非干渉化マイナループを有する三軸微動ステージの位置決め制御
- 位置決め制御系におけるPID調整の一方法 (2000モーション・エンジニアリングシンポジウム) -- (モーションコントロール入門(2)機構モデルと制御技術)
- ステージ位置制御系への北森法の適用
- 円周率を計算した男, 鳴海風著, 新人物往来社, 1998年発刊
- ステージ位置制御系のPID調整に関する一考察
- 算数のテスト
- コロケーション補正と運動モード別非干渉化制御を併用する3軸微動ステージの制御特性
- ステージ位置制御系における定盤加速度フィードバックの再解釈
- 磁気軸受開発の回想
- アナロジによる制御工学理解の功罪
- 微動ステージに対するコロケーション実現の一方法とその制御特性
- ピエゾ素子を使った微動機構に対する高速位置決めの手法
- 微動位置決め機構に対する運動モードに基づく位置決めの特徴
- ボード線図とコ・クアド線図に基づくパラメータ推定の相違
- 空気ばね式除振台に対するフィードフォワード制御の適用
- 微動ステージに対する運動モードに基づく改良型加速度フィードバックを有する位置決め
- 位置決め機構の物理パラメータの一同定方法
- モデル追従形サーボ系と2自由度系の類似点と相違点