5軸能動形磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの制振装置への応用
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2007-07-05
著者
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涌井 伸二
東京農工大学大学院共生科学技術研究院
-
佐々木 悠
東京農工大学大学院電気電子工学専攻
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涌井 伸二
東京農工大学工学府 電気電子工学科 共生科学技術研究院先端電気電子部門
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涌井 伸二
キャノン(株) ナノテク研究所
-
涌井 伸二
キャノン ナノテク研
-
涌井 伸二
東京農工大学大学院
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