すべりねじステージの制御構造の一研究 : −機械非線形特性の把握と制御−
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概要
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A slide screw drive is a kind of old technology. However it is usable and important technology even in high-tech fields such as semiconductor manufacturing. This paper intends to improve the slide screw controllability which has strong non-linearity due to grease characteristics. We measured the grease non-linear viscosity using a special tool. This grease property explains the shot dislocation phenomenon which occurs in slide screw stages particularly. Since we understood the phenomenon, we found one non-linear gain control method which embedded the grease property reversely. It not only fixed the dislocation problem but also enhanced the slid screw stage performance and maintainability.
- 社団法人 精密工学会の論文
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