間山 武彦 | キャノン(株)宇都宮光学機器事業所

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概要

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• 同名の論文著者
• キャノン(株)宇都宮光学機器事業所の論文著者

関連著者

• 間山 武彦

  キャノン(株)宇都宮光学機器事業所

• 涌井 伸二

  キャノン(株) ナノテク研究所

• 高梨 宏之

  秋田県立大学システム科学技術学部

• 足立 修一

  宇都宮大学工学部

• 高梨 宏之

  宇都宮大学 工学部

• 涌井 伸二

  キヤノン(株)半導体機器開発センター

• 間山 武彦

  キヤノン

• 足立 修一

  宇都宮大学 大学院

• 涌井 伸二

  キヤノン

• 足立 修一

  宇都宮大学

• 足立 修一

  慶應義塾大学 理工学部

• 足立 修一

  慶應義塾大学

• 涌井 伸二

  キャノン(株)宇都宮光学機器事業所

• 東海林 敦

  宇都宮大学

• 加藤 宏昭

  キヤノン

• 岩井 功

  キヤノン

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著作論文

• 多変数システム同定結果に基づく除振マウント支持による半導体露光装置の物理パラメータ推定
• 半導体露光装置のアクティブ除振制御系設計のための多自由度システム同定
• 低次な適応フィルタを用いたアクティブ除振装置への床振動フィードフォワード制御

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