21618 慣性力発生装置を用いた振動キャンセルシステムの開発(モデリングと制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)

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概要

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• The control of vibration is important for high technology field such as semiconductor manufacturing. In this field, active vibration isolation device has achieved good performance to reduce vibration. But recently, stage device is bigger and stage movement is more quickly. Therefore the reaction force for vibration isolation is bigger and transmitted to the floor. In this study, in order to solve this problem, we developed an active vibration system using inertial force generators. Dual Model Matching control method is adopted for this system. We confirmed effectiveness of vibration isolation by experiment.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2007-03-15

著者

• 田川 泰敬

  東京農工大学共生科学技術研究院先端機械システム部門

• 田上 将治

  東京農工大学工学府

• 洞 宏一

  特許機器(株)

• 野口 保行

  特許機器(株)

• 加藤 久雄

  特許機器(株)

• 田上 将治

  東京農工大学工学府機械システム工学専攻

• 田川 泰敬

  東京農工大

• 野川 尚孝

  東京農工大学工学府機械システム工学専攻

• 山下 智之

  東京農工大

• 洞 宏一

  特許機器

• 田川 泰敬

  東京農工大学大学院共生科学技術研究院

• 山下 智之

  東京農工大学工学府

• 加藤 久雄

  特許機器 技術本部

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