空気アクチュエータを用いた6自由度微振動試験機の制御
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Microvibration control technology has been rapidly becoming important in a number of fields including superfine technology in semiconductor manufacturing and microgravity research experiments in space. In this paper, an active 6DOF microvibration testing device using air actuators is studied from the view point of control system design. The control system proposed in this paper consists of 3 control functions : a dual model matching controller, an on-line feedforward controller using disturbance information, and an off-line feedforward controller to generate a modified reference input using experimental data. The effectiveness of the proposed control system is verified through vibration isolation and reference following experiments.
- 2000-03-25
著者
-
安田 正志
特許機器(株)
-
田川 泰敬
東京農工大学共生科学技術研究院先端機械システム部門
-
西山 禎昌
東京農工大学大学院
-
田川 泰敬
東京農工大
-
西山 禎昌
東京農工大学ベンチャービジネスラボラトリ
関連論文
- 供試体反力を考慮した振動台制御 : 供試体反力に着目した油圧加振機の2自由度制御設計(機械力学,計測,自動制御)
- 小型精密機器のための組込み型多軸アクティブ制振・除振装置の開発(機械力学,計測,自動制御)
- 522 大型搬送装置のスキルレス化に関する研究
- 多重動吸振器のロバスト最適設計方法(機械力学,計測,自動制御)
- 21267 超磁歪とエアーとから成るハイブリッド型アクチュエータを用いたアクティブ除振台の開発(免震住宅・除振台,構造II)
- 回転機械防振用アクティブマスダンパの開発
- 懸垂機構を用いたパワーアシスト搬送装置たおける対象物移動性能の向上(機械力学,計測,自動制御)
- パラレルワイヤ機構を用いたパワーアシスト搬送装置の対象物移動性能向上に関する研究(ワイヤ駆動系の機構と制御)
- 懸垂機構を用いた多自由度型パワーアシスト吊搬装置の開発 : 第2報,速度変換行列逐次同定手法の検討(機械力学,計測,自動制御)
- 懸垂機構を用いた多自由度型パワーアシスト吊搬装置の開発 : 第1報,実規模試験装置の試作と制御手法の検討(機械力学,計測,自動制御)
- 412 パラレルワイヤ機構を利用したパワーアシスト型吊搬装置の開発(人間と機械II)(OS.4 人間と機械)
- 21152 免震建物の常時微動性状 : その9 上下動の応答性状(免震:微動・風観測,構造II)
- 21154 免震建物の常時微動性状 : その11 立体架構モデルによる上下動応答結果(免震:微動・風観測,構造II)
- 21281 免震建物の常時微動性状 : (その 5)強風下における免震工場の振動測定
- 21280 免震建物の常時微動性状 : その 4 常時微振動応答予測
- 21279 免震建物の常時微動性状 : その 3 免震工場の常時微動測定
- 電磁アクチュエータを用いた床制振用アクティブマスダンパに関する研究 : 共振ピークおよび最大加速度ピーク値の抑制
- 21517 TMD用遠心式摩擦ダンパの基礎的研究(各種制振,構造II)
- 634 線形パラメータ変動系で表される搬送装置の制御に関する研究
- 適応デジタルフィルタによる6自由度微振動試験装置の制御(機械力学,計測,自動制御)
- 空気アクチュエータを用いた6自由度微振動試験機の制御
- 微振動測定に基づく免震建物の入力損失に関する検討(構造)
- 21150 免震建物の常時微動性状 : その7 入力損失(免震:微動・風観測,構造II)
- 21151 免震建物の常時微動性状 : その8 上下動の多点同時測定結果(免震:微動・風観測,構造II)
- 21153 免震建物の常時微動性状 : その10 平面架構モデルによる上下動応答解析(免震:微動・風観測,構造II)
- 敷地地盤の微振動調査に基づく免震建物の微振動応答予測手法(構造)
- 21253 免震建物の常時微動性状 : その6 ARXモデルを用いた免震建物の減衰推定(免震設計・風応答,構造II)
- 436 油圧サーボ系における加速度追従性能向上に関する研究
- D&D 2008におけるダイナミクスと制御の研究動向(D&D 2008)
- 640 6 ジンバル CMG による手術顕微鏡の制振(CMG の開発とモックアップによる実験)
- 1331 超大型振動台のシミュレーションツールの開発(免振・除振装置および振動試験機(1))
- 直接慣性力制御を用いた多軸アクティブ消振・制振システムに関する研究(機械力学,計測,自動制御)
- 529 直接慣性力制御を用いた組込み型多軸振動制御装置の研究
- 直接慣性力制御を用いた制振・除振システムに関する研究(機械力学,計測,自動制御)
- 2311 慣性力発生装置を用いたアクティブ消振・制振システムの開発(免振・除振装置および振動試験機(2))
- 21618 慣性力発生装置を用いた振動キャンセルシステムの開発(モデリングと制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)
- 2313 パラレルリンク型電動モーションシミュレータの目標値追従性能向上(免振・除振装置および振動試験機(2))
- 21015 モーションシミュレータの高周波応答特性の向上(実システムのモデリングと制御(4):試験装置,OS2 実システムのモデリングと制御)
- 502 高荷重三次元免震台の低固有振動数化に関する研究(OS-6・GS-10 耐震・免振)
- 交通・物流
- 114 弾性構造物のアクティブ制御に関する研究(アクティブ免震・制振,OS-12:耐震・免震・制振(1))
- 揺れを止める,揺らさない技術(揺れる,揺らす)
- 慣性力発生装置を用いたアクティブ消振システムの開発(機械力学,計測,自動制御)
- 多重動吸振器のロバスト最適設計方法
- 超磁わいアクチュエータを用いた天井懸架形手術顕微鏡用アクティブ微振動制御装置(機械力学,計測,自動制御)
- 305 振動台-試験体連成系の動特性の解析 : 中型振動台を用いた実験およびシミュレーション
- 303 振動台制御を目的とした加速度出力フィードバックによる 3 変数制御器設計手法について
- 244 天井懸架型手術顕微鏡のアクティブ微振動制御装置
- 244 天井懸架型手術顕微鏡のアクティブ微振動制御装置
- 163 平面内に張られたパラレルワイヤメカニズムにおけるワイヤ面外振動の抑制
- 163 平面内に張られたパラレルワイヤメカニズムにおけるワイヤ面外振動の抑制
- 2P2-2F-E7 パラレルワイヤ機構を用いたパワーアシスト搬送装置の速度変換行列逐次同定手法に関する研究
- パラレルワイヤ形資源回収用高速分別装置の開発 : 機械力学,計測,自動制御
- C13 パラメータ変動を伴う搬送装置の制御に関する研究(OS8 機械・機械構造物の耐震・免震・振動制御(2)1)
- 513 供試体反力を考慮した振動台制御
- 310 コンパクト免震装置の開発
- 648 超大型振動台シミュレータの開発及び実験結果に基づく性能評価
- 511 超大型振動台シミュレータの精度向上に関する研究
- ピエゾアクチュエータを用いたアクティブ徴振動制御装置の研究 : 第2報,6自由度徴振動制御装置の開発
- 209 パラレルリンク型モーションシミュレータの制御に関する研究
- 209 パラレルリンク型モーションシミュレータの制御に関する研究
- 317 高層ビルでのエアロビクス振動低減を目的としたアクティブ制振装置の開発(建築構造物の制御I)(OS 建築構造物の制御)
- 反共振強化形アクティブ制振装置の開発
- 201 ピエゾと空気圧を併用した微振動試験装置の開発(免震・除振装置)(OS 免震・除振装置)
- 直列二重動吸振器の最適設計と制振効果(機械力学,計測,自動制御)
- 232 直列多重動吸振器の最適設計と制振性能
- アクティブ動吸振器による手術顕微鏡の微振動制振
- 639 アクティブ動吸振器による手術顕微鏡の微振動制振
- 配管内の空気圧特性を考慮したアクティブ除振装置の制御 : 装置のモデル化と除振制御実験(運動と振動の制御の21世紀への新展開)
- 21012 長尺配管を有する3次元6自由度空気圧式アクティブ除振装置の制御に関する研究(実システムのモデリングと制御(3):アクティブ除振,OS2 実システムのモデリングと制御)
- B32 長尺配管を有する空気圧式アクティブ除振装置の制御に関する研究(OS3-1 免震・除振装置)
- ピエゾアクチュエータを用いた6自由度微振動シミュレータに関する研究
- 1106 ドライビング・シミュレータの傾斜角補償による加速度模擬性能の向上に関する研究
- ピエゾ素子を用いたスマート構造によるパッシブ微振動制振の基礎的研究
- 228 床の運動量変換型衝撃吸収ダンパによる重量衝撃緩和
- 1104 運動量変換型衝撃吸収ダンパによる床の重量衝撃緩和
- 626 低周波数パッシプ支持機構の開発
- 529 床の重量衝撃吸収に関する研究
- 1205 床の重量衝撃吸収に関する研究
- 懸垂機構を用いた六自由度形配管位置合せ装置の開発 : 第1報,実規模試験装置の作成と制御手法の検討
- (11)小型2次元振動台実験による負荷応答シミュレーションの基礎検討(その2)(5共同研究)
- (11)小型2次元振動台実験による負荷応答シミュレーションの基礎検討(その1)(5共同研究)
- 644 ピエゾ素子を用いたスマート構造による精密機器のパッシブ微振動制振
- ピエゾ素子を用いたスマート構造による精密機器のパッシブ微振動制振に関する基礎的研究
- 324 パラレルメカニズム型工作機械のモデル化と制御 : 機構解析ソフトによる制御シミュレーション(多体システムの解析と制御)(OS.14 多体力学系の力学と制御)
- 実大三次元震動破壊実験装置の線形モデルの導出とTVCによる制御(機械力学,計測,自動制御)
- 21616 実大3次元震動破壊実験施設における多自由度搭載物のモデリング(モデリングと制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)
- バーチャル試験体を用いた振動台制御系の評価実験手法の提案(機械力学,計測,自動制御)
- 21017 実大三次元震動破壊実験装置(E-ディフェンス)の負荷試験体積載時の加振性能について(実システムのモデリングと制御(4):試験装置,OS2 実システムのモデリングと制御)
- 実大三次元震動破壊実験装置における振動台と試験体の連成 : 線形モデルを用いたシミュレーションによる検討(機械力学, 計測, 自動制御)
- B28 実大三次元震動破壊実験装置(E-ディフェンス)の加振性能と活用について(OS3-3 振動試験手法II)
- B24 試験体反力の直接フィードバックによる振動台制御性能の向上(OS3-2 振動試験手法I)
- B23 実大三次元震動破壊実験装置の非線形シミュレーションツールの開発(OS3-2 振動試験手法I)
- 253 振動台・試験体連成系における加振制御と性能について(加振・除振,OS-2 運動と振動のモデリングと制御(3))
- 振動台・試験体連成系を考慮した多変数制御と性能について(アドバンスト振動制御,OS.7 実システムのアドバンスト制御)
- フィードフォワード制御を併用した6自由度微振動制御に関する研究(機械力学,計測,自動制御)
- 精密施設の振動対策 (特集 基礎工と地盤振動)
- F17-(4) 精密機器除振技術の現状と今後の展望(免震・制振・除振技術の現状と今後の展望)(機械力学・測定制御部門企画,日本振動技術協会(JAVIT)協賛)
- フィードフォワード制御を併用したアクティブ除振装置の研究
- 微振動試験装置の開発 : 床振動より小さな微振動目標波の実現