ピエゾアクチュエータを用いたアクティブ微振動制御装置の研究 : 第1報,ー次元微振動制御を対象とした基礎的研究

元データ 1991-08-25 社団法人日本機械学会

概要

Microvibration control is becoming more important in high-technology fields such as semiconductor manufacture. Active microvibration control systems are required to obtain more superior control performance to passive systems. In this study, an active system using a piezoelectric actuator was tested using test apparatus designed for one-dimensional horizontal vibration control. The control law was proposed to achieve almost the same performance as sky-hook systems which are realized by feedback of the absolute displacement and the absolute velocity of the isolation table, by feedback of the absolute acceleration alone. Vibration control experiments were carried out with satisfactory results in isolation performance against micro ground motion, damping performance against direct disturbance and robustness of the control system.

著者

藤田 隆史 東京大学生産技術研究所
村井 信義 (株)竹中工務店
高橋 良典 (株)竹中工務店技術研究所
高橋 良典 竹中工務店技術研究所
高橋 良典 (株)竹中工務店技術研究所技術企画部
田川 泰敬 東京大学生産技術研究所
渋谷 貞雄 日立プラント建設(株)松戸研究所
竹下 章治 (株)日立建設設計
村井 義信 (株)竹中工務店技術研究所
田川 泰敬 東京農工大
高橋 良典 (株)竹中工務店

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