プレーナ導波路型フォトダイオード(SIMPLE-WGPD)の信頼性評価

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概要

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• 低コスト光送受信モジュールを実現する技術として、PLCプラットホーム上に、スポットサイズ変換LDと導波路型PDとを、合わせマークを用いたパッシブアライメントによって実装する方法が研究されている。この技術に適したPDとして、作製プロセスを簡易化して低コスト化を可能とした、端面入射プレーナ導波路型PD (SIMPLE-WGPD)が報告されている。われわれは、このPDの信頼性について検討し、長期安定性と劣化要因を明らかにしたので報告する。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-08-13

著者

• 福田 光男

  Ntt光エレクトロニクス研究所

• 馬渡 宏泰

  日本電信電話(株)NTTフォトニクス研究所

• 竹下 達也

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 竹下 達也

  日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所

• 鳥羽 弘

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 内田 直人

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 加藤 和利

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 馬渡 宏泰

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 幸前 篤郎

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 湯田 正宏

  NTT光エレクトロニクス研究所

• 加藤 和利

  Nttフォトニクス研究所

• 幸前 篤郎

  NTTエレクトロニクス

• 福田 光男

  Ntt 電子応用研

• 馬渡 宏泰

  Ntt フォトニクス研

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