配線の信頼性、信頼性に関連した歩留りを考慮したギガビットDRAMの設計法
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概要
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配線の信頼性、信頼性に開連した歩留りを考慮したギガビットDRAMの設計法を撮案した。DRAMをギガビットレベルまで大容量化すると1AL配線で構成したワード線、および電源線の信頼性が新たに問題となる。ワード線に関しては配線の信頼性だけでなく信頼性に開する歩留りが256Mビットレベルで問題となってくる。この問題を解決するためにはワード線には従来の1ALシャント方式の代わりに2ALのグローバルワード線方式が、電源線には電源線部のみ2ALの膜厚を従来より2倍にする方式を導入する設計法が有効であり、16Gビットレベルまで信頼性の問題は無くなる。ギガビットレベルのDRAMではロジックLSI同様配線の信頼性を定量的に考慮した設計手法が必須となる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-01-23
著者
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