SAWデバイス用LiNbO_3, LiTaO_3単結晶の超音波マイクロスペクトロスコピー (最近の超音波応用デバイス論文特集)
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概要
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安定した温度環境下で材料評価をより高精度かつ効率的に行うために,超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術による材料評価システムを新たに開発した.本システムを弾性表面波(SAW)デバイス用基板として広く用いられている127.86°YX-LiNbO_3,64°YX-LiNbO_3,36°YX-LiTaO_3及びX-112.2°Y LiTaO_3の直径3インチの市販単結晶の弾性的均質性の評価に適用し,結晶育成方向及び径方向における漏洩弾性表面波(LSAW)速度のわずかな変化を検出することに成功した.各結晶から切り出したデバイス用基板に対して測定された結晶内のLSAW速度の分布は,LiNbO_3及びLiTaO_3において,それぞれ0.01%及び0.02%程度であった.このLSAW速度分布が化学組成の分布によるものとして見積もると,127.86°YX-LiNbO_3結晶では0.012Li_2O-mol%,36°YX-LiTaO_3結晶では0.034Li_2O-mol%の分布に対応すると考えられる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-25
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