直線集束ビーム超音波材料特性解析システム用標準試料の音響特性 : 合成石英ガラス

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概要

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本報では、直線集束ビーム超音波材料特性解析システム用の標準試料として、直接法により作製された4種類の合成石英ガラス試料を取り上げ、23℃におけるバルク音響特性を高精度に測定した。音速測定において、複素量計測法を導入し、誤差要因である回折の影響や接着層の影響の補正を行った。また、試料の厚さを正確に求めるための検討を行った。これらにより精密な値を得ることができた。試料間には、作製プロセスにおいて混入したOH基、Clや熱履歴の違いによるものと考えられる音響特性およびその温度係数の違いが検出された。また、標準試料としての精度も向上し、漏洩弾性表面波の伝搬特性を精度良く校正できた。
2000-09-11

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