対向ターゲット式スパッタ法によるTb-Fe-Co/Al多層膜の構造と磁気特性
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概要
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対向ターゲット式スパッタ装置を用いてガラス基板上にTb-Fe-Co合金薄膜を堆積した結果、プラズマ収束磁界を強めてフラズマフリーな基板上に、低動作ガス圧下で、高速で、成膜した方がより平垣な表面を持ち、膜全体的にも緻密、均一で、柱状構造および初期層が見られなくなり、更に耐蝕性にも優れ、極薄膜においでも大きな垂直磁気異方性が得られた。Tb-Fe-Co, Al二層膜においてはTb-Fe-Coの層厚を調整することによって、所望の波長で最大力-回転角および性能指数を得ることができた。その多層膜ではTb-Fe-Co層間の磁気的な交換結合によるものと思われる階段型のヒステリシスループがみられた。
- 1993-09-17
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