TiNi薄膜マイクロアクチュエータの電流加熱結晶化熱処理法 : 可逆型TiNi薄膜の場合の変形特性と組織分析
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-06-05
著者
-
小川 倉一
小川創造技術研究所
-
小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
-
吉竹 正明
大阪府立産業技術総合研究所
-
清水 聖治
大島商船高等専門学校 商船学科
-
栗林 勝利
山口大学工学部
-
清水 聖治
山口大学工学部
-
清水 聖治
商船学科
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