CrSiC系複合薄膜による高性能力覚センサの試作

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概要

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• 2010-05-20

著者

• 小川 倉一

  小川創造技術研究所

• 近藤 真也

  (株)アサヒ電子研究所

• 玉置 肇

  (株)アサヒ電子研究所

• 竹中 宏

  日本リニアックス(株)

• 武村 守

  大阪府立産業技術総合研究所

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