高周波マグネトロンスパッタ法による窒化銅膜の作製
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概要
著者
-
岡本 昭夫
大阪府立産業技術総合研究所
-
小川 倉一
小川創造技術研究所
-
中山 喜萬
大阪府立大学工学部電子物理工学科
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小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
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吉竹 正明
大阪府立産業技術総合研究所
-
野坂 俊紀
大阪府立産業技術総合研究所
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中山 喜萬
科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪 中山プロジェクト
-
中山 喜萬
大阪府立大学工学部物理工学科
-
中山 喜萬
大阪府立大学大学院工学研究科
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