CrN_<0.9>薄膜を用いたサーミスタボロメータ型赤外線センサの開発
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概要
著者
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小川 倉一
小川創造技術研究所
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井上 幸二
大阪府立産業技術総合研究所
-
日下 忠興
大阪府立産業技術総合研究所
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小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
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吉竹 正明
大阪府立産業技術総合研究所
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釜坂 哲也
大阪真空工業株式会社
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安達 直祐
大阪真空工業株式会社
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