DCスパッタ法によるCrOx薄膜と圧力センサの可能性
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概要
著者
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鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所
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鈴木 義彦
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪
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竹中 宏
日本リニアックス(株)
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小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
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野坂 俊紀
大阪府立産業技術総合研究所
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