プラズマモニタリングを用いたYBa_2Cu_3O_x薄膜の作製
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概要
著者
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鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所
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鈴木 義彦
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪
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日下 忠興
大阪府立産業技術総合研究所
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筧 芳治
大阪府立産業技術総合研究所
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四谷 任
(財)大阪科学技術センター
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四谷 任
阪府大ナノ研
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小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
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四谷 任
大阪府立産業技術総合研究所
-
四谷 任
大阪府産業技総研
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