IBS法によるTa_2O_5膜のシリコン上への成膜
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概要
著者
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鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所
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鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所 材料技術部
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井上 幸二
大阪府立産業技術総合研究所
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鈴木 義彦
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪
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小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
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橋間 英和
山村硝子(株)ニューガラス研究所
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