Ti-B積層膜へのパルスイオンビーム照射効果
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概要
著者
-
岡本 昭夫
大阪府立産業技術総合研究所
-
小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
-
中川 吉郎
大阪市立大・工
-
浜田 糾
大阪府立産業技術総合研究所
-
有吉 剛
大阪市立大学工学部
-
中川 吉郎
大阪市立大学原子力基礎研究所
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