反応性RFマグネトロンスパッタ法により作製したCr-N薄膜のRFパワー依存性
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概要
著者
-
岡本 昭夫
大阪府立産業技術総合研究所
-
小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
-
吉竹 正明
大阪府立産業技術総合研究所
-
野坂 俊紀
大阪府立産業技術総合研究所
-
田中 啓詞
大阪電気通信大学
-
月出 修
大阪電気通信大学
-
月出 修
大阪電気通信大学 工学部
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