イオンビームスパッタ法によるPbTiO_3薄膜の作製
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概要
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- 1995-03-20
著者
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鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所
-
鈴木 義彦
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪
-
小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
-
橋間 英和
山村硝子(株)ニューガラス研究所
-
中島 貞夫
山村硝子(株)ニューガラス研究所
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