パルスレーザ堆積法による CuScO_2 デラフォサイト型酸化物薄膜の作製

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2003-05-20

著者

• 佐藤 和郎

  大阪府立産業技術総合研究所

• 筧 芳治

  大阪府立産業技術総合研究所

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