電子サイクロトロン共鳴プラズマの照射による酸化インジウム・スズ薄膜の表面改質
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概要
著者
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小川 倉一
小川創造技術研究所
-
佐藤 和郎
大阪府立産業技術総合研究所
-
筧 芳治
大阪府立産業技術総合研究所
-
中野 信夫
理研計器
-
中野 信夫
理研計器(株)
-
北畠 顕英
三容真空工業株式会社
-
小川 倉一
三容真空工業株式会社
-
中島 嘉之
理研計器株式会社
-
中野 信夫
理研計器株式会社
-
中野 信夫
理研計器株式会社研究部
-
中島 嘉之
理研計器(株)研究部
-
小川 倉一
三容真空工業(株)
-
中野 信夫
Riken Keiki Co. Ltd.
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