竹中 宏 | 日本リニアックス(株)
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概要
関連著者
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竹中 宏
日本リニアックス(株)
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小川 倉一
小川創造技術研究所
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近藤 真也
(株)アサヒ電子研究所
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玉置 肇
(株)アサヒ電子研究所
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武村 守
大阪府立産業技術総合研究所
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鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所
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鈴木 義彦
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪
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野坂 俊紀
大阪府立産業技術総合研究所
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吉竹 正明
大阪府立産業技術総合研究所
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沢村 幹雄
日本リニアックス(株)
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日下 忠興
大阪府立産業技術総合研究所
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小川 倉一
大阪府立産業技術総合研究所
著作論文
- CrSiC 系複合薄膜による高性能力覚センサの試作
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- 高温動作用ダイヤフラム一体型圧力センサの開発
- DCスパッタ法によるCrOx薄膜と圧力センサの可能性
- 高温動作用ダイヤフラム一体型圧力センサの開発
- 小型高性能力覚センサを用いたロールツーロールスパッタ装置用張力計測システムの試作
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