BNを成膜したCNTエミッタの電界放射特性(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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電子顕微鏡をはじめとする材料評価装置の性能向上のために、微小電子源のさらなる研究開発が望まれている。我々は、BN薄膜からの電子放出に関する研究を進め、実効的なトンネル障壁高さが減少することを示してきた。一方、カーボンナノチューブ(CNT)をはじめとするカーボンナノ材料は、その大きなアスペクト比を持つ特異な形状から電界放射電子源として注目されている。本発表では、BNナノ薄膜をカーボンナノ材料に適用し、まずカーボンナノファイバー(CNF)にBNナノ薄膜を成膜することにより電界放射特性の改善を図った。次に、CNT1本によるエミッタに対し10nm以下と非常に薄いBNナノ薄膜の成膜を試み、その電界放射特性の改良を行った。
- 2006-07-27
著者
-
木村 千春
大阪大学大学院工学研究科
-
由川 真
大阪大学大学院工学研究科
-
林 茂樹
島津製作所基盤技術研究所
-
小林 巧
島津製作所基盤技術研究所
-
中山 喜萬
大阪府立大学工学部電子物理工学科
-
秋田 成司
大阪府立大
-
森久 祐司
島津製作所基盤技術研究所
-
中山 喜萬
阪大工
-
杉野 隆
大阪大学 工学部
-
秋田 成司
阪府大工
-
由川 真
大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻
-
木村 千春
大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻
-
青木 秀充
大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻
-
中山 喜萬
大阪府立大学工学部物理工学科
-
Nakayama Yoshinori
Aset Super-fine Sr Lithography Laboratory
-
Akita Shirabe
Central Research Institute Of Electric Power Industry
-
青木 秀充
大阪大学 大学院工学研究科
-
木村 千春
大阪大学 大学院工学研究科
-
杉野 隆
大阪大学 大学院工学研究科
-
中山 喜萬
大阪府立大学大学院工学研究科
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