LIGAプロセスの三次元化とスパイラル型マイクロコイルの作製
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概要
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LIGA process has been developed in the 2.5-dimensional world. We introduced new technologies of a 3D X-ray lithography and a worm injection molding with an unscrewing demolding mechanism, and succeeded in the deployment of a three- dimensional LIGA process. Furthermore, it succeeded to fabricate a spiral microcoil using 3D-LIGA process and a metallization technique combined flat and smooth electroplating and isotropic chemical etching. A diameter of the microcoil was 0.5 mm and the length was 1 mm. The width of coil lines was 10 μm, and the pitch was 20 μm. Also the characteristics as an inductor of this microcoil is such that the inductance and the quality factor at the frequency of 1 GHz was 91 nH and 5.8, respectively.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2007-02-01
著者
-
服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
佐藤 憲昭
株式会社 樹研工業
-
佐藤 憲昭
(株)樹研工業
-
銘苅 春隆
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
久住 真治
進工業株式会社
-
清水 正巳
有限会社 ジュケンファインツール
-
山下 満
兵庫県立工業技術センター
-
嶋田 修
進工業株式会社
-
佐藤 憲昭
樹研工業
-
服部 正
兵庫県立大学
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