4101 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ(S67-1 アクチュエータシステム(1),S67 アクチュエータシステム)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Actuators are being found in increasingly various fields and in many applications. The performance of some machine essentially depends on actuators. The LIGA process can be used to fabricate nano- and micro- scale structure. In this research, we have developed and fabricated a high aspect ratio fixed the width of coil line and space for solenoidal electromagnetically driven actuators. By using the LIGA process, a coil consisting of 10μm lines and spaces with an aspect ratio of about 5 can be manufactured. It is expected that actuator with high aspect ratio coils can deliver large output suction force in spite of miniature size.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
-
服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
野田 大二
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
-
松本 吉史
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
-
服部 正
兵庫県立大学
-
山下 修平
兵庫県立大学
-
野田 大二
兵庫大
-
野田 大二
兵庫県立大学
関連論文
- 高アスペクト比コイルを用いた電磁型マイクロアクチュエータ(第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
- 次世代3次元X線リソグラフィーの提案と高輝度液晶バックライトユニット導光板への応用
- 紫外線を用いる微細構造形成技術
- 波長可変型大面積SR露光システム
- 2J11-3 積層型マイクロリアクターの試作と環境分析への応用(分析化学・物理化学・生物工学一般,一般講演)
- 放射光による大面積微細加工システム(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 超高感度厚膜レジストの新規開発 (特集 微細加工技術)
- ニュースバルの到達点
- 放射光LIGAプロセスによるマイクロ金型の作製(放射光による応用加工技術の現状と将来)
- 放射光化学反応によるナノレベル・エピタキシャル成長(放射光による応用加工技術の現状と将来)
- 430 光強度分布X線マスクによる微細3次元加工の検討(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 425 X線マスクの回転によるマイクロ構造体の傾斜面の形成(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 強度分布制御によるSR 3次元加工の検討
- 微細電鋳金型による高機能導光板の作製とLED照明用途への展開 (小特集 LED照明と表面技術)
- エッチングによる表面微細加工 (特集 サーフェステクスチャ加工とトライボロジー)
- 二層ニッケル電鋳法による高硬度マイクロ金型の作製(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- LIGAプロセスの三次元化とスパイラル型マイクロコイルの作製
- ウォーム成形技術のLIGAプロセスへの応用(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 427 ウォーム成形技術を用いた立体マイクロコイルの開発
- 紫外線面発光体の作製と光触媒光源への応用 ([日本設備管理学会]20周年記念大会特集論文)
- エッチングによる表面微細加工
- 4330 医療用マイクロデバイスの基礎研究 : バイオプシー用マイクロデバイスを有する外骨格型マイクロアーム(S69-1 医療ロボット(1),S69 医療ロボット)
- X線透過格子を用いた位相イメージング装置開発
- MEMSプローブの作製と機械特性評価 ([日本設備管理学会]20周年記念大会特集論文)
- 放射光を用いた3次元加工によるマイクロプローブの作製
- 放射光高アスペクト加工とSi異方性エッチングの組み合わせによる3次元微細プローブの作製
- 微細電鋳金型による高機能導光板の作製とLED照明用途への展開
- X線リソグラフィーによる微細エンボスロールの開発
- 2901 高アスペクト比マイクロコイルの作製と評価(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 4102 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイル作製(S67-1 アクチュエータシステム(1),S67 アクチュエータシステム)
- 4101 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ(S67-1 アクチュエータシステム(1),S67 アクチュエータシステム)
- 2312 二層ニッケル電鋳法による高硬度微細金型の作製(マイクロメカニズム,一般講演)
- 2311 カーボン基板を用いたX線マスクの開発(マイクロメカニズム,一般講演)
- 117 多層ニッケル電鋳による高強度金型の作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- UV-LIGAプロセスによる導光板の開発
- 慣性駆動型マイクロマニピュレータの機構と駆動方法
- 慣性駆動型マイクロマニピュレータの動特性
- 赤外線カメラを利用した農業用非接触水分量センシング
- マイクロ自律ロボットの群制御 : 免疫ネットワークからのアプローチ
- 3210 オプティカルフローに基づく光導波形触覚センサの三軸力計測(J22-2 次世代アクチュエータシステム(2),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- J1101-1-1 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの作製(次世代アクチュエータシステム)
- 3203 マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1301 電磁型マイクロアクチュエータの作製と評価(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 116 LIGAプロセスによる微細ラインマイクロコイルの作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 2902 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイルを用いた電磁駆動型アクチュエータの作製(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作
- 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作
- 1307 誘電体ナノ粒子を用いた小型静電容量式傾斜センサの開発(OS5/OS7-1 ライフサポート/マイクロメカトロニクス(1))
- F1101(4) マイクロアクチュエータの最前線([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
- F07(4) 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作(【F07】ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ)
- W01(7) 3次元微細加工技術とその展開(【W01】機械工学におけるマイクロ・ナノ工学)
- 14・3・2 センサ(14・3 アクチュエータ,14.機素潤滑設計,機械工学年鑑)
- 14・3・1 アクチュエータ(14・3 アクチュエータ,14.機素潤滑設計,機械工学年鑑)
- 6・2・6 特殊加工(6・2 材料加工,6.機械材料・材料加工,機械工学年鑑)
- マイクロ・ナノシステムとその加工(アクチュエータシステム)
- 微細3次元加工技術の動向とその展開 (特集 微細加工技術)
- マイクロアクチュエータの製造技術(アクチュエータ)
- 2305 LIGAプロセスによる電磁アクチュエータの作製(OS8-2 アクチュエータシステム(2))
- 創発的機能形成形マイクロロボット群システムに関する研究 : マイクロロボット群システムの提案およびプログラマブルマイクロロボット(P-MARS)の設計
- 426 放射光による微細 3 次元加工 : 3 次元 X 線マスク
- 3次元微細加工技術の現状と展望
- 微細パターンのホットエンボシング成形(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- SPring-8の産業利用(12)LIGAプロセスによる微細加工とその産業への応用
- ICPエッチングによる微細構造体を用いた金構造体の作製
- 424 放射光を用いた高アスペクト加工と異方性エッチングの組み合わせによる3次元マイクロ構造体の作製(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- マイクロ3次元構造体の加工と今後の展開
- マイクロアクチュエータの超微細三次元加工技術 (特集2 次世代アクチュエータの加工,高効率化と最先端応用技術)
- 次世代マイクロアクチュエータと超微細3次元加工技術
- 超音波ホットエンボッシング成形技術の開発(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- J1103-1-4 オプティカルフローを利用した光導波形触覚センサ([1103-1]次世代アクチュエータシステム)
- T1601-2-4 カーボンウェハを用いた大面積X線マスクの作製([T1601-2]マイクロナノメカトロニクス(2))
- HARMST 2007 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology 報告
- 超音波加工 超音波振動によるホットエンボッシングのアシスト処理
- 1206 ICPエッチング法による高アスペクト比微細構造体の作製(アクチュエータのためのマイクロナノプロセス,一般講演)
- 次世代マイクロアクチュエータの加工法
- W11-(4) 次世代アクチュエータと超微細 3 次元加工技術
- 放射光のナノ・マイクロ加工技術への応用(放射光による応用加工技術の現状と将来)
- WS.4-6 放射光を用いた 3 次元マイクロ構造創製
- 技術トピック 放射光によるナノ・マイクロ加工:LIGAプロセス
- MEMS実用化の課題と今後
- 姫路工業大学高度産業科学技術研究所
- W15-(4) マイクロ圧電アクチュエータ
- 1210 オプティカルフローに基づく光導波形触覚センサの試作(触覚センサ・触覚ディスプレイ,一般講演)
- BMEにおける知的財産の強化
- 微細加工技術と将来のめっき技術
- J161022 ICPエッチング技術による微細高アスベクト比X線格子の作製([J16102]マイクロナノメカト口ニクス(2))