服部 正 | 兵庫県立大学
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概要
関連著者
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服部 正
兵庫県立大学
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服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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服部 正
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野田 大二
兵庫県立大学
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野田 大二
兵庫大
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野田 大二
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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服部 正
兵庫県大 高度産業科技研
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松本 吉史
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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瀬戸本 勝
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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佐和 吉敬
佐和鍍金工業(株)
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山下 健治
(株)ナノクリエート
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山下 健治
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所ナノマイクロシステム研究室
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北谷 武
佐和鍍金工業(株)
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銘苅 春隆
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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徳岡 篤
兵庫県立大学
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瀬戸本 勝
兵庫県立大学
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内海 裕一
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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山下 満
兵庫県立工業技術センター
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銘苅 春隆
兵庫県立大学
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山下 修平
兵庫県立大学
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瀬戸 本勝
兵庫県立大学
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山下 健治
兵庫県立大
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出井 一義
中西金属工業(株)新規事業室
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内海 裕一
兵庫県立大学
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Utsumi Yuichi
Laboratory Of Advanced Science And Technology For Industry University Of Hyogo
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内海 裕一
兵庫県立大
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岸本 武文
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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佐藤 憲昭
株式会社 樹研工業
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佐藤 憲昭
(株)樹研工業
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久住 真治
進工業株式会社
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清水 正巳
有限会社 ジュケンファインツール
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嶋田 修
進工業株式会社
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佐藤 憲昭
樹研工業
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内海 裕一
NTT基礎技術総合研究所
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糸魚川 貢一
(株)東海理化技術開発センター開発部マイクロシステム開発室
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植田 寛康
東海理化
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福田 義博
Niro
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野中 倫明
東京都立大塚病院 外科
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野中 作太郎
九州電気専門学校
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南谷 めぐみ
フジプレアム株式会社 研究開発部
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坂井 信支
東洋合成工業
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多田 健太郎
東洋合成工業
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原 玲丞
トヤマ
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佐藤 憲昭
株式会社樹研工業
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清水 正巳
株式会社樹研工業
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山西 陽子
東北大学
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新井 史人
東北大学
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新井 史人
東北大
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百生 敦
東大新領域
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鳴海 圭亮
東北大学大学院工学研究科
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林 育菁
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
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我妻 大策
東北大学
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廣田 雅彦
東北大
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糸魚川 貢一
(株)東海理化
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矢代 航
東大新領域
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武田 佳彦
東大新領域
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WAN Keshu
東大新領域
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木村 哲平
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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石田 友弘
日本電子材料株式会社
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矢代 航
物材機構ナノマテ:産総研ナノテク
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木村 哲平
JFEファインテック
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香取 めぐみ
(株)ナノクリエート
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木村 太郎
兵庫県立大
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佐和 吉敬
兵庫県立大
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山下 健治
佐和鍍金工業
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山下 満
Hyogo Prefectural Institute of Technology
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野田 大二
University of Hyogo
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北谷 武
佐和鍍金(株)
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佐和 吉敬
佐和鍍金(株)
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東海理化電機製作所
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福田 義博
姫工大工
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丸山 修
エンジニアリング・システム(株)
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坂井 信支
東洋合成工業(株)新規事業開発部ナノテクグループ
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百生 敦
東大院新領域
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東海理化
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イケックス工業
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植田 寛康
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姫工大
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ナガセケムテックス
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服部 正
姫工大
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エンジニアリング・システム(株)
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糸魚川 貢一
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百生 敦
東大新領域創成
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新井 史人
名古屋大
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新井 史人
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
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服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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野田 大二
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
著作論文
- 高アスペクト比コイルを用いた電磁型マイクロアクチュエータ(第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
- 次世代3次元X線リソグラフィーの提案と高輝度液晶バックライトユニット導光板への応用
- 紫外線を用いる微細構造形成技術
- 波長可変型大面積SR露光システム
- 二層ニッケル電鋳法による高硬度マイクロ金型の作製(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- LIGAプロセスの三次元化とスパイラル型マイクロコイルの作製
- ウォーム成形技術のLIGAプロセスへの応用(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- エッチングによる表面微細加工
- 4330 医療用マイクロデバイスの基礎研究 : バイオプシー用マイクロデバイスを有する外骨格型マイクロアーム(S69-1 医療ロボット(1),S69 医療ロボット)
- X線透過格子を用いた位相イメージング装置開発
- 放射光を用いた3次元加工によるマイクロプローブの作製
- 微細電鋳金型による高機能導光板の作製とLED照明用途への展開
- X線リソグラフィーによる微細エンボスロールの開発
- 2901 高アスペクト比マイクロコイルの作製と評価(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 4102 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイル作製(S67-1 アクチュエータシステム(1),S67 アクチュエータシステム)
- 4101 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ(S67-1 アクチュエータシステム(1),S67 アクチュエータシステム)
- 2312 二層ニッケル電鋳法による高硬度微細金型の作製(マイクロメカニズム,一般講演)
- 2311 カーボン基板を用いたX線マスクの開発(マイクロメカニズム,一般講演)
- 117 多層ニッケル電鋳による高強度金型の作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- UV-LIGAプロセスによる導光板の開発
- J1101-1-1 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの作製(次世代アクチュエータシステム)
- 3203 マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1301 電磁型マイクロアクチュエータの作製と評価(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 116 LIGAプロセスによる微細ラインマイクロコイルの作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 2902 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイルを用いた電磁駆動型アクチュエータの作製(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作
- 1307 誘電体ナノ粒子を用いた小型静電容量式傾斜センサの開発(OS5/OS7-1 ライフサポート/マイクロメカトロニクス(1))
- F1101(4) マイクロアクチュエータの最前線([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
- F07(4) 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作(【F07】ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ)
- W01(7) 3次元微細加工技術とその展開(【W01】機械工学におけるマイクロ・ナノ工学)
- 14・3・2 センサ(14・3 アクチュエータ,14.機素潤滑設計,機械工学年鑑)
- 14・3・1 アクチュエータ(14・3 アクチュエータ,14.機素潤滑設計,機械工学年鑑)
- 6・2・6 特殊加工(6・2 材料加工,6.機械材料・材料加工,機械工学年鑑)
- マイクロ・ナノシステムとその加工(アクチュエータシステム)
- マイクロアクチュエータの製造技術(アクチュエータ)
- 2305 LIGAプロセスによる電磁アクチュエータの作製(OS8-2 アクチュエータシステム(2))
- 426 放射光による微細 3 次元加工 : 3 次元 X 線マスク
- 微細パターンのホットエンボシング成形(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- ICPエッチングによる微細構造体を用いた金構造体の作製
- マイクロ3次元構造体の加工と今後の展開
- 超音波ホットエンボッシング成形技術の開発(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- T1601-2-4 カーボンウェハを用いた大面積X線マスクの作製([T1601-2]マイクロナノメカトロニクス(2))
- 1206 ICPエッチング法による高アスペクト比微細構造体の作製(アクチュエータのためのマイクロナノプロセス,一般講演)
- 微細加工技術と将来のめっき技術
- J161022 ICPエッチング技術による微細高アスベクト比X線格子の作製([J16102]マイクロナノメカト口ニクス(2))