超音波ホットエンボッシング成形技術の開発(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
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概要
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In order to enable precise microfabrication with a high aspect ratio, the new replication technique which combined hot embossing and ultrasonic vibration was suggested. In this method, it is the feature to add vertical ultrasonic vibration to a metallic mold and a resin sheet in holding process after applying load. Consequently, it is promoted that plastic flows into the precise pattern of a metallic mold, and the accuracy of transfer improves remarkably. We tested using a Ni mold with micro-pattern, and polycarbonate. It turned out that contacting force became low and holding time was also sharply shortened compared with a conventional hot embossing technique.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-04-16
著者
-
服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
銘苅 春隆
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
銘苅 春隆
兵庫県立大学
-
服部 正
兵庫県立大学
-
丸山 修
エンジニアリング・システム(株)
-
中村 修
エンジニアリング・システム(株)
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