427 ウォーム成形技術を用いた立体マイクロコイルの開発
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概要
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Utilizing warm injection molding technology, a resin core of cylindrical micro coil in diameter 0.5mm x length 1.0mm has been fabricated. Then, a coil line with 30μm width has successfully been formed by metallization. Having measuring inductance, impedance etc. on the fabricated coil, electrical characteristics as coil has been assessed. The result stated that the coil possessed characteristics worth to conventional ones. Furthermore, a new fabrication process of 3-D micro coil has been invented by composing this technology onto LIGA process.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-10-17
著者
-
服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
佐藤 憲昭
株式会社 樹研工業
-
佐藤 憲昭
(株)樹研工業
-
銘苅 春隆
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
久住 真治
進工業株式会社
-
山下 満
兵庫県立工業技術センター
-
嶋田 修
進工業株式会社
-
佐藤 憲昭
樹研工業
-
銘苅 春隆
姫路工大
-
山下 満
兵庫工技センター
-
服部 正
姫路工大
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