D40 切削工具用cBN膜のSPM測定(OS6 切削加工(4))
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概要
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This study describes scanning probe microscope(SPM) analysis of cBN thin films with a magnetically enhanced plasma ion plating (MEP-IP) method. The structure of films was investigated by means of XRD. SPM was observed in the current mode. As a result, the current distribution of the film where cBN exists together had the difference of the contrast corresponding to the ruggedness on the surface, and, on the other hand, didn't had the difference of the contrast for the film where cBN is not included.
- 2010-11-19
著者
-
山下 満
兵庫県立工業技術センター
-
小川 圭二
滋賀県立大
-
中川 平三郎
滋賀県立大
-
野間 正男
神港精機
-
所 敏夫
滋賀県東北部工業技術センター
-
野間 正男
神港精機(株)
-
野間 正男
神港精機株式会社
-
今田 琢己
滋賀県東北部工業技術センター
-
小川 圭二
滋賀県立大学工学部
-
小川 圭二
Department Of Mechanical Systems Engineering The University Of Shiga Prefecture
-
Ogawa K
Doshisha University Graduate School
-
Ogawa Keiji
School Of Engineering The University Of Shiga Prefecture
-
中川 平三郎
滋賀県立大学
-
小川 圭二
滋賀県立大学工学部機械システム工学科
-
今田 琢巳
滋賀県東北部工業技術センター
-
OGAWA Keiji
Department of Mechanical System Engineering, The University of Shiga Prefecture
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