c-BN 膜の硬さ特性と工具応用
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概要
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We studied high performance of the Tools coated c-BN thin films. The tools coated c-BN depended on substrate power supply frequency for tool performance. The tools performance coated c-BN with substrate power supply frequency 13.56 MHz was 0.4 times compared with the tools coated TiAlN. The tools performance coated c-BN with substrate power supply frequency 100 kHz was 2.0 times compared with the tools coated TiAlN. Hardness of c-BN thin films depended on substrate voltage, the hardness changed from 2000 HK to 4500 HK. The tool performance of ball-end mill coated c-BN with 3000 HK was same to the tools coated TiAlN. The tool performance of ball-end mill coated c-BN with 4000 HK was 1.7 times compared with the tools coated TiAlN.
- 日本真空協会の論文
著者
-
小川 圭二
滋賀県立大学機械システム工学科
-
小川 圭二
滋賀県立大
-
中川 平三郎
滋賀県立大
-
野間 正男
神港精機
-
所 敏夫
滋賀県東北部工業技術センター
-
野間 正男
神港精機株式会社
-
大西 宏明
滋賀県東北部工業技術センター
-
小松 永治
神港精機株式会社
-
中川 平三郎
滋賀県立大学
-
大西 宏明
滋賀県東北部工技セ
-
OGAWA Keiji
Department of Mechanical System Engineering, The University of Shiga Prefecture
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