424 放射光を用いた高アスペクト加工と異方性エッチングの組み合わせによる3次元マイクロ構造体の作製(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
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概要
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LIGA process becomes attractive for application to the industry thanks to its performance of fabrication with high aspect ratio and mass production. However, LIGA process is generally possible to produce only the 2.5-dimentional microstructures. So ,we proposed producing 3-dimentional microstructures by means of the combination of LIGA process and anisotropic etching which is suitable for mass production.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-02
著者
-
服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
服部 正
姫路工業大学高度産業科学技術研究所
-
銘苅 春隆
姫路工業大学高度産業科学技術研究所
-
銘苅 春隆
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
木村 哲平
日本電子材料(株)
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