426 放射光による微細 3 次元加工 : 3 次元 X 線マスク
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概要
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The X ray mask used in the present LIGA process has the uniform thickness of an absorber. Therefore, the fabrication with flexibility in vertical-directions is very restricted. Production of the 3D microstructure, which has the arbitrary depth by such method, is difficult. In this paper, we proposed the new LIGA process using the X-ray mask absorbers with thickness variation in vertical direction. Moreover, this process is verified to give the fabrication with having flexibility in vertical-directions.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-10-17
著者
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